Высокая пространственная стабильность лазерного пучка
Высокая угловая стабильность лазерного пучка
Высокая частота следования импульсов
Твердотельный коммутатор
Компактный эксимерный лазер
Встроенный безмасляный вакуумный насос и газовый фильтр
Встроенный датчик энергии импульсов
Стабилизация выходной энергии
