СВЧ-плазмохимический реактор для выращивания поли-, монокристаллических алмазов с заданными свойствами методом химического осаждения из газовой фазы в микроволновой плазме (MP CVD).
ARDIS — новейшая система с расширенным набором функций управления и диагностики.
- 6 кВт, частота 2.45 ГГц
- регулируемый подложкодержатель с ходом по оси z 50 мм
- малое натекание < 10-9 торр·л/с
- высокий вакуум < 10-7 торр
Подробная информация на нашем специализированном сайте:
