СВЧ-плазмохимический реактор для выращивания поли- и монокристаллических алмазов с заданными свойствами методом химического осаждения из газовой фазы в микроволновой плазме (MP CVD).

ARDIS – новейшая система с расширенным набором функций управления и диагностики.

  • Регулируемый подложкодержатель с ходом по оси Z 10 мм
  • Натекание в камеру менее 1 мторр/час
  • Высокий вакуум < 2*10-7 торр
  • Двулучевой пирометр

Socials