СВЧ-плазмохимический реактор для выращивания поли-, монокристаллических алмазов с заданными свойствами методом химического осаждения из газовой фазы в микроволновой плазме (MP CVD).

ARDIS — новейшая система с расширенным набором функций управления и диагностики.

  • 6 кВт, частота 2.45 ГГц
  • регулируемый подложкодержатель с ходом по оси z 50 мм
  • малое натекание < 10-9 торр·л/с
  • высокий вакуум < 10-7 торр

Socials