СВЧ-плазмохимический реактор для выращивания поли- и монокристаллических алмазов с заданными свойствами методом химического осаждения из газовой фазы в микроволновой плазме (MP CVD).
ARDIS – новейшая система с расширенным набором функций управления и диагностики.
- Регулируемый подложкодержатель с ходом по оси Z 10 мм
- Натекание в камеру менее 1 мторр/час
- Высокий вакуум < 2*10-7 торр
- Двулучевой пирометр
Подробная информация на нашем специализированном сайте:
