Характерные особенности
- Компактный эксимерный лазер
- Тиратронный коммутатор
- Газовая смесь – премикс
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Стабилизация выходной энергии
- Компьютерный контроль
Спецификация
| ArF | KrF | XeCl | |
| Длина волны | 193 нм | 248 нм | 308 нм |
| Максимальная энергия | 20 мДж | 40 мДж | 25 мДж |
| Максимальная частота следования импульсов | |||
| CL 5100 CL 5200 CL 5300 |
100 Гц 200 Гц 300 Гц |
||
| Максимальная средняя мощность | |||
| CL 5100 CL 5200 CL 5300 |
2 Вт 4 Вт 5 Вт |
4 Вт 8 Вт 10 Вт |
2.5 Вт 5 Вт 7 Вт |
| Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS | < 2 % | ||
| Размер пучка (FWHM, V х H) | 12 х 3.5 мм | 12 х 4 мм | 12 х 4 мм |
| Расходимость (FWHM, V х H) | 2 х 1 мрад | ||
| Длительность импульса (FWHM) | 8–12 нс | ||
| Охлаждение | |||
| CL 5100 CL 5200 / CL 5300 |
воздушное водяное |
||
| Вес | 80 кг | ||
| Габариты (Д х Ш х В) | 780 х 330 х 583 мм | ||
| Электрическое питание | 220 В, 50 Гц, < 1000 ВА | ||