Спецификация
ArF | KrF | XeCl | |
Длина волны | 193 нм | 248 нм | 308 нм |
Максимальная энергия | 20 мДж | 40 мДж | 25 мДж |
Максимальная частота следования импульсов | |||
CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 100 Гц 200 Гц 300 Гц | ||
Максимальная средняя мощность | |||
CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 2 Вт 4 Вт 5 Вт | 4 Вт 8 Вт 10 Вт | 2.5 Вт 5 Вт 7 Вт |
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS | < 2 % | ||
Размер пучка (FWHM, V х H) | 12 х 3.5 мм | 12 х 4 мм | 12 х 4 мм |
Расходимость (FWHM, V х H) | 2 х 1 мрад | ||
Длительность импульса (FWHM) | 8–12 нс | ||
Охлаждение | |||
CL 5100 CL 5200 / CL 5300 | воздушное водяное | ||
Вес | 80 кг | ||
Габариты (Д х Ш х В) | 780 х 330 х 583 мм | ||
Электрическое питание | 220 В, 50 Гц, < 1000 ВА |