Характерные особенности

  • Компактный эксимерный лазер
  • Тиратронный коммутатор
  • Газовая смесь – премикс
  • Встроенный датчик энергии импульсов
  • Стабилизация выходной энергии
  • Компьютерный контроль

 

Спецификация

ArFKrFXeCl
Длина волны193 нм248 нм308 нм
Максимальная энергия20 мДж40 мДж25 мДж
Максимальная частота следования импульсов
CL 5100
CL 5200
CL 5300
100 Гц
200 Гц
300 Гц
Максимальная средняя мощность
CL 5100
CL 5200
CL 5300
2 Вт
4 Вт
5 Вт
4 Вт
8 Вт
10 Вт
2.5 Вт
5 Вт
7 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS< 2 %
Размер пучка (FWHM, V х H)12 х 3.5 мм12 х 4 мм12 х 4 мм
Расходимость (FWHM, V х H)2 х 1 мрад
Длительность импульса (FWHM)8–12 нс
Охлаждение
CL 5100
CL 5200 / CL 5300
воздушное
водяное
Вес80 кг
Габариты (Д х Ш х В)780 х 330 х 583 мм
Электрическое питание220 В, 50 Гц, < 1000 ВА

Socials