Характерные особенности

  • Компактный эксимерный лазер
  • Тиратронный коммутатор
  • Газовая смесь – премикс
  • Встроенный датчик энергии импульсов
  • Стабилизация выходной энергии
  • Компьютерный контроль

 

Спецификация

ArF KrF XeCl
Длина волны 193 нм 248 нм 308 нм
Максимальная энергия 20 мДж 40 мДж 25 мДж
Максимальная частота следования импульсов
CL 5100
CL 5200
CL 5300
100 Гц
200 Гц
300 Гц
Максимальная средняя мощность
CL 5100
CL 5200
CL 5300
2 Вт
4 Вт
5 Вт
4 Вт
8 Вт
10 Вт
2.5 Вт
5 Вт
7 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS < 2 %
Размер пучка (FWHM, V х H) 12 х 3.5 мм 12 х 4 мм 12 х 4 мм
Расходимость (FWHM, V х H) 2 х 1 мрад
Длительность импульса (FWHM) 8–12 нс
Охлаждение
CL 5100
CL 5200 / CL 5300
воздушное
водяное
Вес 80 кг
Габариты (Д х Ш х В) 780 х 330 х 583 мм
Электрическое питание 220 В, 50 Гц, < 1000 ВА

Socials