Характерные особенности
- Компактный эксимерный лазер
- Стабилизация выходной энергии
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Газовая смесь – премикс
- Тиратронный коммутатор
- Компьютерный контроль
Спецификация
| ArF | KrF | XeCl | |
| Длина волны (нм) | 193 | 248 | 308 |
| Максимальная энергия (мДж) | 20 | 40 | 25 |
| Максимальная частота следования импульсов (Гц) | |||
| CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 100 200 300 | ||
| Максимальная средняя мощность (Вт) | |||
| CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 2 4 5 | 4 8 10 | 2,5 5 7 |
| Энергетическая стабильность (сигма, %) | < 2 | ||
| Размер пучка (FWHM, мм, VхH) | 12х3,5 | 12х4 | |
| Расходимость (FWHM, мрад, VхH) | 2х1 | ||
| Длительность импульса (FWHM, нс) | 8-12 | ||
| Охлаждение | |||
| CL 5100 CL 5200/5300 | воздушное водяное | ||
| Вес (кг) | 80 | ||
| Габариты лазера (ДхШхВ, мм) | 780х330х583 | ||
| Электрическое питание | 220В, 50 Гц, <1000ВА | ||