CL 7000

Главная / CL 7000

Характерные особенности

  • Тиратронный коммутатор
  • Газовая смесь – премикс
  • Встроенный датчик энергии импульсов
  • Стабилизация выходной энергии
  • Компьютерный контроль

Спецификация

ArFKrFXeCl
Длина волны193 нм248 нм308 нм
Максимальная энергия250 мДж400 мДж300 мДж
Максимальная частота следования импульсов
CL 7020
CL 7050
CL 7100
20 Гц
50 Гц
100 Гц
Максимальная средняя мощность
CL 7020
CL 7050
CL 7100
5 Вт
10 Вт
20 Вт
8 Вт
20 Вт
35 Вт
6 Вт
15 Вт
25 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS< 2 %
Размер пучка (FWHM, V х H)23 х 8 мм23 х 9 мм23 х 11 мм
Расходимость (FWHM, V х H)4.5 х 1.5 мрад
Длительность импульса (FWHM)17 нс20 нс20 нс
Охлаждение
CL 7020
CL 7050 / CL 7100
воздушное
водяное
Вес170 кг
Габариты (Д х Ш х В)1430 х 380 х 760 мм
Электрическое питание
CL 7020
CL 7050 / CL 7100
220 В, 50 Гц, < 1500 ВА
220/380В, 50 Гц, < 3500ВА

Эксимерный лазер с оптическим столом и системой формирования излучения для систем лазерного напыления.

Система может быть сконфигурирована в соотвествии со спецификацией заказчика ( высота оптической оси, положение выхода оптического излучения, фокусное расстояние, степень однородности фокального пятна на мишени и пр.)

Socials