Спецификация
ArF | KrF | XeCl | |
Длина волны | 193 нм | 248 нм | 308 нм |
Максимальная энергия | 250 мДж | 400 мДж | 300 мДж |
Максимальная частота следования импульсов | |||
CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 20 Гц 50 Гц 100 Гц | ||
Максимальная средняя мощность | |||
CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 5 Вт 10 Вт 20 Вт | 8 Вт 20 Вт 35 Вт | 6 Вт 15 Вт 25 Вт |
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS | < 2 % | ||
Размер пучка (FWHM, V х H) | 23 х 8 мм | 23 х 9 мм | 23 х 11 мм |
Расходимость (FWHM, V х H) | 4.5 х 1.5 мрад | ||
Длительность импульса (FWHM) | 17 нс | 20 нс | 20 нс |
Охлаждение | |||
CL 7020 CL 7050 / CL 7100 | воздушное водяное | ||
Вес | 170 кг | ||
Габариты (Д х Ш х В) | 1430 х 380 х 760 мм | ||
Электрическое питание | |||
CL 7020 CL 7050 / CL 7100 | 220 В, 50 Гц, < 1500 ВА 220/380В, 50 Гц, < 3500ВА |
Эксимерный лазер с оптическим столом и системой формирования излучения для систем лазерного напыления.
Система может быть сконфигурирована в соотвествии со спецификацией заказчика ( высота оптической оси, положение выхода оптического излучения, фокусное расстояние, степень однородности фокального пятна на мишени и пр.)