Характерные особенности
- Тиратронный коммутатор
- Газовая смесь – премикс
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Стабилизация выходной энергии
- Компьютерный контроль
Спецификация
| ArF | KrF | XeCl | |
| Длина волны | 193 нм | 248 нм | 308 нм |
| Максимальная энергия | 250 мДж | 400 мДж | 300 мДж |
| Максимальная частота следования импульсов | |||
| CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 20 Гц 50 Гц 100 Гц | ||
| Максимальная средняя мощность | |||
| CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 5 Вт 10 Вт 20 Вт | 8 Вт 20 Вт 35 Вт | 6 Вт 15 Вт 25 Вт |
| Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS | < 2 % | ||
| Размер пучка (FWHM, V х H) | 23 х 8 мм | 23 х 9 мм | 23 х 11 мм |
| Расходимость (FWHM, V х H) | 4.5 х 1.5 мрад | ||
| Длительность импульса (FWHM) | 17 нс | 20 нс | 20 нс |
| Охлаждение | |||
| CL 7020 CL 7050 / CL 7100 | воздушное водяное | ||
| Вес | 170 кг | ||
| Габариты (Д х Ш х В) | 1430 х 380 х 760 мм | ||
| Электрическое питание | |||
| CL 7020 CL 7050 / CL 7100 | 220 В, 50 Гц, < 1500 ВА 220/380В, 50 Гц, < 3500ВА | ||
Эксимерный лазер с оптическим столом и системой формирования излучения для систем лазерного напыления.
Система может быть сконфигурирована в соотвествии со спецификацией заказчика ( высота оптической оси, положение выхода оптического излучения, фокусное расстояние, степень однородности фокального пятна на мишени и пр.)