Характерные особенности

  • Состоит из двух эксимерных лазеров модели CL 7020 или CL 7050, специальной оптической платформы и синхронизатора
  • Лазерная система работает по оптической схеме «задающий генератор – усилитель»

Спецификация

ArF KrF
Длина волны 193 нм 248 нм
Максимальная энергия 100 мДж 250 мДж
Максимальная частота следования импульсов
CL 7520
CL 7550
20 Гц
50 Гц
Максимальная средняя мощность
CL 7520
CL 7550
2 Вт
5 Вт
5 Вт
12.5 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS < 2 %
Размер пучка (FWHM, V х H) 20 х 6 мм
Расходимость (FWHM, V х H) < 0.2 х 0.2 мрад
Длительность импульса (FWHM) 20 нс
Ширина линии < 3 пм
Пространственная когерентность > 5 мм
Временная когерентность > 10 мм
Охлаждение водяное
Вес (общий вес без оптического стола) 450 кг
Габариты (Д х Ш х В) 2000 х 800 х 750 мм
Электрическое питание 220/380 В, 50 Гц, < 7000 ВА

Socials