Характерные особенности

  • Состоит из двух эксимерных лазеров модели CL 7020 или CL 7050, специальной оптической платформы и синхронизатора
  • Лазерная система работает по оптической схеме «задающий генератор – усилитель»

Спецификация

ArFKrF
Длина волны193 нм248 нм
Максимальная энергия100 мДж250 мДж
Максимальная частота следования импульсов
CL 7520
CL 7550
20 Гц
50 Гц
Максимальная средняя мощность
CL 7520
CL 7550
2 Вт
5 Вт
5 Вт
12.5 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS< 2 %
Размер пучка (FWHM, V х H)20 х 6 мм
Расходимость (FWHM, V х H)< 0.2 х 0.2 мрад
Длительность импульса (FWHM)20 нс
Ширина линии< 3 пм
Пространственная когерентность> 5 мм
Временная когерентность> 10 мм
Охлаждениеводяное
Вес (общий вес без оптического стола)450 кг
Габариты (Д х Ш х В)2000 х 800 х 750 мм
Электрическое питание220/380 В, 50 Гц, < 7000 ВА

Socials