Спецификация
ArF | KrF | |
Длина волны | 193 нм | 248 нм |
Максимальная энергия | 100 мДж | 250 мДж |
Максимальная частота следования импульсов | ||
CL 7520 CL 7550 | 20 Гц 50 Гц | |
Максимальная средняя мощность | ||
CL 7520 CL 7550 | 2 Вт 5 Вт | 5 Вт 12.5 Вт |
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS | < 2 % | |
Размер пучка (FWHM, V х H) | 20 х 6 мм | |
Расходимость (FWHM, V х H) | < 0.2 х 0.2 мрад | |
Длительность импульса (FWHM) | 20 нс | |
Ширина линии | < 3 пм | |
Пространственная когерентность | > 5 мм | |
Временная когерентность | > 10 мм | |
Охлаждение | водяное | |
Вес (общий вес без оптического стола) | 450 кг | |
Габариты (Д х Ш х В) | 2000 х 800 х 750 мм | |
Электрическое питание | 220/380 В, 50 Гц, < 7000 ВА |