Характерные особенности

  • Тиратронный коммутатор
  • Газовая смесь – премикс
  • Встроенный датчик энергии импульсов
  • Стабилизация выходной энергии
  • Компьютерный контроль

Спецификация

ArF KrF
Длина волны 193 нм 248 нм
Максимальная энергия 400 мДж 750 мДж
Максимальная частота следования импульсов
СL 7720
CL 7750
20 Гц
50 Гц
Максимальная средняя мощность
СL 7720
CL 7750
7 Вт
14 Вт
15 Вт
35 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS < 2 %
Размер пучка (FWHM, V х H) 28 х 10 мм
Расходимость (FWHM, V х H) 4.5 х 2 мрад
Длительность импульса (FWHM) 20 нс 30 нс
Охлаждение водяное
Вес 190 кг
Габариты (Д х Ш х В) 1430 х 380 х 760 мм
Электрическое питание 220/380 В, 50 Гц, < 3500 ВА

Socials