Характерные особенности

  • Тиратронный коммутатор
  • Газовая смесь – премикс
  • Встроенный датчик энергии импульсов
  • Стабилизация выходной энергии
  • Компьютерный контроль

Спецификация

ArFKrF
Длина волны193 нм248 нм
Максимальная энергия400 мДж750 мДж
Максимальная частота следования импульсов
СL 7720
CL 7750
20 Гц
50 Гц
Максимальная средняя мощность
СL 7720
CL 7750
7 Вт
14 Вт
15 Вт
35 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS< 2 %
Размер пучка (FWHM, V х H)28 х 10 мм
Расходимость (FWHM, V х H)4.5 х 2 мрад
Длительность импульса (FWHM)20 нс30 нс
Охлаждениеводяное
Вес190 кг
Габариты (Д х Ш х В)1430 х 380 х 760 мм
Электрическое питание220/380 В, 50 Гц, < 3500 ВА

Socials