Характерные особенности
- Тиратронный коммутатор
- Стабилизация выходной энергии
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Газовая смесь – премикс
- Компьютерный контроль
Спецификация
| ArF | KrF | |
| Длина волны (нм) | 193 | 248 |
| Максимальная энергия (мДж) | 350 | 700 |
| Максимальная частота следования импульсов (Гц) | ||
| СL 7720 CL 7750 | 20 50 | |
| Максимальная средняя мощность (Вт) | ||
| СL 7720 CL 7750 | 7 17,5 | 14 35 |
| Энергетическая стабильность (сигма, %) | < 2 | |
| Размер пучка (FWHM, мм, VхH) | 28 х 10 | |
| Расходимость (FWHM, мрад, VхH) | 4.5 х 2 | |
| Длительность импульса (FWHM, нс) | 20 | 25 |
| Охлаждение | водяное | |
| Вес (кг) | 190 | |
| Габариты лазера (ДхШхВ, мм) | 1430 х 380 х 760 | |
| Электрическое питание | 220/380В, 50 Гц, <3500ВА | |