Характерные особенности
- Тиратронный коммутатор
- Газовая смесь – премикс
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Стабилизация выходной энергии
- Компьютерный контроль
Спецификация
| ArF | KrF | |
| Длина волны | 193 нм | 248 нм |
| Максимальная энергия | 400 мДж | 750 мДж |
| Максимальная частота следования импульсов | ||
| СL 7720 CL 7750 |
20 Гц 50 Гц |
|
| Максимальная средняя мощность | ||
| СL 7720 CL 7750 |
7 Вт 14 Вт |
15 Вт 35 Вт |
| Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS | < 2 % | |
| Размер пучка (FWHM, V х H) | 28 х 10 мм | |
| Расходимость (FWHM, V х H) | 4.5 х 2 мрад | |
| Длительность импульса (FWHM) | 20 нс | 30 нс |
| Охлаждение | водяное | |
| Вес | 190 кг | |
| Габариты (Д х Ш х В) | 1430 х 380 х 760 мм | |
| Электрическое питание | 220/380 В, 50 Гц, < 3500 ВА | |