Спецификация
ArF | KrF | |
Длина волны (нм) | 193 | 248 |
Максимальная энергия (мДж) | 400 | 750 |
Максимальная частота следования импульсов (Гц) | ||
СL 7720 CL 7750 | 20 50 | |
Максимальная средняя мощность (Вт) | ||
СL 7720 CL 7750 | 7 14 | 15 35 |
Энергетическая стабильность (сигма, %) | < 2 | |
Размер пучка (FWHM, мм, VхH) | 28 х 10 | |
Расходимость (FWHM, мрад, VхH) | 4.5 х 2 | |
Длительность импульса (FWHM, нс) | 20 | 25 |
Охлаждение | водяное | |
Вес (кг) | 190 | |
Габариты лазера (ДхШхВ, мм) | 1430 х 380 х 760 | |
Электрическое питание | 220/380В, 50 Гц, <3500ВА |