Характерные особенности
- Высокая пространственная стабильность лазерного пучка
- Высокая угловая стабильность лазерного пучка
- Высокая частота следования импульсов
- Твердотельный коммутатор
- Компактный эксимерный лазер
- Встроенный безмасляный вакуумный насос и газовый фильтр
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Стабилизация выходной энергии
Спецификация
| ArF | KrF | XeCl | |
| Длина волны (нм) | 193 | 248 | 308 |
| Максимальная энергия (мДж) | 15 | 25 | 12 |
| Максимальная частота следования импульсов (Гц) | 500* | ||
| Максимальная средняя мощность (Вт) | 7.5 | 12.5 | 6 |
| Энергетическая стабильность (сигма, %) | < 2 | ||
| Размер пучка (FWHM, мм, VхH) | 12х3.5 | 12х4 | 12х4 |
| Расходимость (FWHM, мрад, VхH) | 2х1 | ||
| Длительность импульса (FWHM, нс) | 10-12 | ||
| Охлаждение | водяное | ||
| Вес (кг) | 85 | ||
| Габариты лазера (ДхШхВ, мм) | 890 х 340 х 460 | ||
| Электрическое питание | 220В, 50 Гц, <1000ВА | ||
* — возможна конфигурация 1000 и 2000 Гц