Характерные особенности
- Высокая пространственная стабильность лазерного пучка
- Высокая угловая стабильность лазерного пучка
- Высокая частота следования импульсов
- Твердотельный коммутатор
- Компактный эксимерный лазер
- Встроенный безмасляный вакуумный насос и газовый фильтр
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Стабилизация выходной энергии
Спецификация
| ArF | KrF | XeCl | |
| Длина волны | 193 нм | 248 нм | 308 нм |
| Максимальная энергия | 15 мДж | 25 мДж | 12 мДж |
| Максимальная частота следования импульсов | 1100 Гц | ||
| Максимальная средняя мощность | 14 Вт | 25 Вт | 12 Вт |
| Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS | < 2 % | ||
| Размер пучка (FWHM, V х H) | 12 х 3.5 мм | 12 х 4 мм | 12 х 4 мм |
| Расходимость (FWHM, V х H) | 2 х 1 мрад | ||
| Длительность импульса (FWHM) | 10 – 12 нс | ||
| Охлаждение | водяное | ||
| Вес | 85 кг | ||
| Габариты (Д х Ш х В) | 890 х 340 х 460 мм | ||
| Электрическое питание | 220 В, 50 Гц, < 1000 ВА | ||