Характерные особенности

  • Высокая пространственная стабильность лазерного пучка
  • Высокая угловая стабильность лазерного пучка
  • Высокая частота следования импульсов
  • Твердотельный коммутатор
  • Компактный эксимерный лазер
  • Встроенный безмасляный вакуумный насос и газовый фильтр
  • Встроенный датчик энергии импульсов
  • Стабилизация выходной энергии

Спецификация

ArFKrFXeCl
Длина волны193 нм248 нм308 нм
Максимальная энергия15 мДж25 мДж12 мДж
Максимальная частота следования импульсов1100 Гц
Максимальная средняя мощность14 Вт25 Вт12 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS< 2 %
Размер пучка (FWHM, V х H)12 х 3.5 мм12 х 4 мм12 х 4 мм
Расходимость (FWHM, V х H)2 х 1 мрад
Длительность импульса (FWHM)10 – 12 нс
Охлаждениеводяное
Вес85 кг
Габариты (Д х Ш х В)890 х 340 х 460 мм
Электрическое питание220 В, 50 Гц, < 1000 ВА

Socials