Характерные особенности

  • Высокая пространственная стабильность лазерного пучка
  • Высокая угловая стабильность лазерного пучка
  • Высокая частота следования импульсов
  • Твердотельный коммутатор
  • Компактный эксимерный лазер
  • Встроенный безмасляный вакуумный насос и газовый фильтр
  • Встроенный датчик энергии импульсов
  • Стабилизация выходной энергии

Спецификация

ArF KrF XeCl
Длина волны 193 нм 248 нм 308 нм
Максимальная энергия 15 мДж 25 мДж 12 мДж
Максимальная частота следования импульсов 1100 Гц
Максимальная средняя мощность 14 Вт 25 Вт 12 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS < 2 %
Размер пучка (FWHM, V х H) 12 х 3.5 мм 12 х 4 мм 12 х 4 мм
Расходимость (FWHM, V х H) 2 х 1 мрад
Длительность импульса (FWHM) 10 – 12 нс
Охлаждение водяное
Вес 85 кг
Габариты (Д х Ш х В) 890 х 340 х 460 мм
Электрическое питание 220 В, 50 Гц, < 1000 ВА

Socials