Характерные особенности

  • Высокая частота следования импульсов до 6 кГц
  • Высокая выходная мощность до 160 Вт
  • Твердотельный коммутатор
  • Стабилизация выходной энергии

Спецификация:

ArFKrF
Длина волны193 нм248 нм
Максимальная энергия20 мДж40 мДж
Максимальная частота следования импульсов4000 Гц
Максимальная средняя мощность100 Вт200 Вт
Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS< 2 %
Размер пучка (FWHM, VхH)14 х 2.5 мм
Расходимость (FWHM, VхH)3.5 х 1 мрад
Длительность импульса (FWHM)17 – 20 нс
Охлаждениеводяное
Вес360 кг
Габариты (Д х Ш х В)1890 x 810 x 1840 мм
Электрическое питание220/380 В, 50 Гц, < 7000 ВА

Socials