Характерные особенности
- Высокая частота повторения импульсов до 4 кГц
- Высокая выходная мощность до 160 Вт
- Твердотельный коммутатор
- Стабилизация выходной энергии
Спецификация:
| ArF | KrF | |
| Длина волны | 193 нм | 248 нм |
| Максимальная энергия | 20 мДж | 40 мДж |
| Максимальная частота следования импульсов | 4000 Гц | |
| Максимальная средняя мощность | 80 Вт | 160 Вт |
| Стабильность энергии от импульса к импульсу, RMS | < 2 % | |
| Размер пучка (FWHM, V х H) | 14 х 2.5 мм | |
| Расходимость (FWHM, V х H) | 3.5 х 1 мрад | |
| Длительность импульса (FWHM) | 7 – 9 нс | |
| Охлаждение | водяное | |
| Вес | 960 кг | |
| Габариты (Д х Ш х В) | 1890 x 810 x 1840 мм | |
| Электрическое питание | 220/380 В, 50 Гц, < 20000 ВА | |