СВЧ-плазмохимический реактор

Главная / СВЧ-плазмохимический реактор
ARDIS 300

ARDIS 300

СВЧ-плазмохимический реактор

СВЧ-плазмохимический реактор для выращивания поли- и монокристаллических алмазов с заданными свойствами методом химического осаждения из газовой фазы в микроволновой плазме (MP CVD).

ARDIS - новейшая система с расширенным набором функций управления и диагностики.