Эксимерные лазеры
7X300
Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью
- Твердотельный коммутатор
- Большая энергия в импульсе
- Высокая средняя мощность
- Встроенный безмасляный вакуумный насос и газовый фильтр
- Лазер выполнен в виде единого модуля
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Стабилизация выходной энергии
Характеристики
| ArF | KrF | |
|---|---|---|
Максимальная частота следования импульсов | 300Гц | |
Длина волны | 248нм | 308нм |
Максимальная энергия | 1000мДж | |
Максимальная средняя мощность | 300Вт | |
Стабильность энергии от импульса к импульсу, Sigma | < 1.5% | |
Размер пучка(FWHM, V х H) | 35 x 15 (± 2) мм | 37 x 15 (± 2)мм |
Расходимость(FWHM, V х H) | ≤ 4.5 x 1.5мрад | |
Длительность импульса(FWHM) | 25-35нс | |
Охлаждение | водяное | |
Электрическое питание | 220/380 В, 50 Гц, < 10000 ВА | |
Габариты(Д х Ш х В) | 1750 x 790 x 1820мм | |
Вес | 950кг | |
Смежные продукты
Компактный высокочастотный эксимерный лазер
Эксимерный лазер для научных и производственных задач
Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток
Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса
Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса
Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью
Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники
