7X300

Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью

300Гц

Максимальная частота следования импульсов

248, 308нм

Длина волны

Отжиг полупроводников

Ключевые особенности

Твердотельный коммутатор
Большая энергия в импульсе
Высокая средняя мощность
Встроенный безмасляный вакуумный насос и газовый фильтр
Лазер выполнен в виде единого модуля
Встроенный датчик энергии импульсов
Стабилизация выходной энергии

Характеристики

Длина волны, нм

Всего вариантов: 2


Длина волны	248нм	308нм
Максимальная частота следования импульсов	300Гц
Максимальная энергия	1000мДж
Максимальная средняя мощность	300Вт
Стабильность энергии импульса, Sigma	< 1.5%
Размер пучка	35 x 15 (± 2) мм	37 x 15 (± 2)мм
Расходимость	≤ 4.5 x 1.5мрад
Длительность импульса	25 – 35нс
Охлаждение	водяное
Электрическое питание	220/380 В, 50 Гц, < 10000 ВА
Габариты	1750 x 790 x 1820мм
Вес	950кг

Смежные продукты

СЛ5000

CL5000

Компактный высокочастотный эксимерный лазер

СЛ7000

CL7000

Эксимерный лазер для научных и производственных задач

СЛ7000 ФБГ

CL7000 FBG

Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток

СЛ7700

CL7700

Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса

СЛ7308

CL7308

Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса

СЛ7500

CL7500

Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью

ДС4000

DC4000

Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники

ОЛС100К

OLS100K

Узкополосный эксимерный лазер для проекционной фотолитографии