Эксимерные лазеры
ОЛС100К
OLS100K
Узкополосный эксимерный лазер для проекционной фотолитографии
248.4нм
Длина волны
0–1000Гц
Максимальная частота следования импульсов
< 3пм
Ширина спектра излучения
< 6пм
Ширина спектра излучения
< 3%
Относительная нестабильность энергии импульсов
11–13мм
Размеры выходного пятна излучения, высота
3.5–4.5мм
Размеры выходного пятна излучения, ширина
> 95%
Степень поляризации излучения
< 10мин
Время готовности лазера к работе
Безмасочная литография
Ключевые особенности
Характеристики
Длина волны | 248.4нм |
Максимальная частота следования импульсов | 0 – 1000Гц |
Максимальная энергия | 5мДж |
Стабильность энергии импульса, Sigma | < 3% |
Расходимость(FWHM, V х H) | 3.5 x 1.5мрад |
Длительность импульса(FWHM) | 7 – 12нс |
Ширина спектра излученияпо уровню FWHM | < 3пм |
Ширина спектра излученияпо уровню 10% | < 6пм |
Относительная нестабильность энергии импульсовсигма по выборке 1000 импульсов | < 3% |
Размеры выходного пятна излучения, высота(по уровню FWHM), на расстоянии 0.5 м от выходной апертуры | 12 ± 1мм |
Размеры выходного пятна излучения, ширина(по уровню FWHM), на расстоянии 0.5 м от выходной апертуры | 4 ± 0.5мм |
Степень поляризации излучения | > 95% |
Время готовности лазера к работе | < 10мин |
Габариты(Д х Ш х В) | 1025 × 450 × 610мм |
Вес | 132кг |
Смежные продукты
СЛ5000
CL5000
Компактный высокочастотный эксимерный лазер
СЛ7000
CL7000
Эксимерный лазер для научных и производственных задач
СЛ7000 ФБГ
CL7000 FBG
Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток
СЛ7700
CL7700
Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса
СЛ7308
CL7308
Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса
СЛ7500
CL7500
Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью
ДС4000
DC4000
Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники
7X300
7X300
Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью
