ОЛС100К

OLS100K

Узкополосный эксимерный лазер для проекционной фотолитографии

248.4нм

Длина волны

0–1000Гц

Максимальная частота следования импульсов

Безмасочная литография

Ключевые особенности

Длина волны	248.4нм
Максимальная частота следования импульсов	0 – 1000Гц
Максимальная энергия	5мДж
Стабильность энергии импульса, Sigma	< 3%
Длительность импульса(FWHM)	7 – 12нс
Габариты(Д х Ш х В)	1025 × 450 × 610мм
Вес	132кг

CL5000

Компактный высокочастотный эксимерный лазер

CL7000

Эксимерный лазер для научных и производственных задач

CL7000 FBG

Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток

CL7700

Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса

CL7308

Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса

CL7500

Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью

DC4000

Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники

Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью