ОЛС5000

OLS5000

Эксимерные лазер для литографии

≤ 0.5пм

Ширина линии

2000Гц

Максимальная частота следования импульсов

193.3, 248.3нм

Длина волны

10–20Вт

Средняя мощность

Безмасочная литография

Ключевые особенности

Характеристики

Длина волны, нм

Средняя мощность, Вт

Всего вариантов: 2


Длина волны	193.3нм	248.3нм
Максимальная частота следования импульсов	2000Гц
Энергия импульса в режиме стабилизации	5мДж	10мДж
Стабильность энергии импульса, Sigma	< ±10%
Длительность импульса	> 15нс
Ширина линии	≤ 0.5пм
Средняя мощность	10Вт	20Вт
Диапазон перестройки длины волны	193.33–193.40нм	248.2–248.5нм
E95% ширина линии	≤ 1.4пм
Диапазон регулирования энергии импульса	3.5–5.5мДж	7.5–12.5мДж
Стабильность дозы	< 0.4%
Горизонтальный размер пучка	2.8 ± 0.3мм
Вертикальный размер пучка	15.5 ± 0.8мм
Симметрия горизонтального профиля пучка	≤ 40%
Симметрия вертикального профиля пучка	≤ 40%
Горизонтальная расходимость	1.3 ± 0.5мрад
Вертикальная расходимость	2.2 ± 0.8мрад
Поляризация	> 98%
Габариты	1740 × 780 × 1840мм

Смежные продукты

СЛ5000

CL5000

Компактный высокочастотный эксимерный лазер

СЛ7000

CL7000

Эксимерный лазер для научных и производственных задач

СЛ7000 ФБГ

CL7000 FBG

Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток

СЛ7700

CL7700

Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса

СЛ7308

CL7308

Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса

СЛ7500

CL7500

Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью

ДС4000

DC4000

Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники

7X300

Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью