Эксимерные лазеры
ОЛС6000
OLS6000
Эксимерные лазер для литографии
≤ 0.35пм
Ширина линии
4000Гц
Максимальная частота следования импульсов
193.3, 248.3нм
Длина волны
20–40Вт
Средняя мощность
Безмасочная литография
Ключевые особенности
Характеристики
Длина волны, нм
Средняя мощность, Вт
Всего вариантов: 2
| Длина волны | 193.3нм | 248.3нм |
| Максимальная частота следования импульсов | 4000Гц | |
| Энергия импульса в режиме стабилизации | 5мДж | 10мДж |
| Стабильность энергии импульса, Sigma | < ±10% | |
| Длительность импульса | > 15нс | |
| Ширина линии | ≤ 0.35пм | |
| Средняя мощность | 20Вт | 40Вт |
| Диапазон перестройки длины волны | 193.33–193.40нм | 248.2–248.5нм |
| E95% ширина линии | ≤ 1.2пм | |
| Диапазон регулирования энергии импульса | 3.5–5.5мДж | 7.5–12.5мДж |
| Стабильность дозы | < 0.4% | |
| Горизонтальный размер пучка | 2.8 ± 0.3мм | |
| Вертикальный размер пучка | 15.5 ± 0.8мм | |
| Симметрия горизонтального профиля пучка | ≤ 40% | |
| Симметрия вертикального профиля пучка | ≤ 40% | |
| Горизонтальная расходимость | 1.3 ± 0.5мрад | |
| Вертикальная расходимость | 2.2 ± 0.8мрад | |
| Поляризация | > 98% | |
| Габариты | 1740 × 780 × 1840мм | |
Смежные продукты

СЛ5000
CL5000
Компактный высокочастотный эксимерный лазер

СЛ7000
CL7000
Эксимерный лазер для научных и производственных задач

СЛ7000 ФБГ
CL7000 FBG
Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток

СЛ7700
CL7700
Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса

СЛ7308
CL7308
Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса

СЛ7500
CL7500
Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью

ДС4000
DC4000
Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники

7X300
7X300
Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью