Эксимерные лазеры
ДС4000
DC4000
Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники
193, 248нм
Длина волны
Безмасочная литографияОбработка метериалов
Ключевые особенности
Характеристики
Длина волны, нм
Всего вариантов: 2
| Длина волны | 193нм | 248нм |
| Частота следования импульсов | 1 – 4000Гц | |
| Энергия импульса в режиме стабилизации | 10мДж | 20мДж |
| Максимальная энергия | 20мДж | 40мДж |
| Максимальная средняя мощность | 80Вт | 160Вт |
| Стабильность энергии импульса, Sigma | < 2% | |
| Размер пучка | 14 x 2.5мм | |
| Расходимость | 3.5 x 1мрад | |
| Длительность импульса | 7 – 9нс | |
| Охлаждение | водяное | |
| Электрическое питание | 220/380 В, 50 Гц, < 20000 ВА | |
| Габариты | 1440 x 793 x 1718мм | |
Смежные продукты
СЛ5000
CL5000
Компактный высокочастотный эксимерный лазер
СЛ7000
CL7000
Эксимерный лазер для научных и производственных задач
СЛ7000 ФБГ
CL7000 FBG
Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток
СЛ7700
CL7700
Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса
СЛ7308
CL7308
Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса
СЛ7500
CL7500
Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью
7X300
7X300
Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью
ОЛС100К
OLS100K
Узкополосный эксимерный лазер для проекционной фотолитографии
