ДС4000

DC4000

Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники

4000Гц

Максимальная частота следования импульсов

193, 248нм

Длина волны

Безмасочная литографияОбработка метериалов

Ключевые особенности

Характеристики

Длина волны, нм

Всего вариантов: 2


Длина волны	193нм	248нм
Максимальная частота следования импульсов	4000Гц
Энергия импульса в режиме стабилизации	15мДж	30мДж
Средняя мощность в режиме стабилизации	60Вт	120Вт
Стабильность энергии импульса, Sigma	< 2%
Размер пучка	14 х 2.5мм
Расходимость	3.5 х 1мрад
Длительность импульса	7 – 9нс
Охлаждение	водяное
Электрическое питание	220/380 В, 50 Гц, < 20000 ВА
Габариты	1890 x 810 x 1840мм
Вес	960кг

Смежные продукты

СЛ5000

CL5000

Компактный высокочастотный эксимерный лазер

СЛ7000

CL7000

Эксимерный лазер для научных и производственных задач

СЛ7000 ФБГ

CL7000 FBG

Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток

СЛ7700

CL7700

Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса

СЛ7308

CL7308

Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса

СЛ7500

CL7500

Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью

7X300

Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью

ОЛС100К

OLS100K

Узкополосный эксимерный лазер для проекционной фотолитографии