Эксимерные лазеры
ДС4000
DC4000
Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники
4000Гц
Максимальная частота следования импульсов
193, 248нм
Длина волны
Безмасочная литографияОбработка метериалов
Ключевые особенности
Характеристики
Длина волны, нм
Всего вариантов: 2
| Длина волны | 193нм | 248нм |
| Максимальная частота следования импульсов | 4000Гц | |
| Энергия импульса в режиме стабилизации | 15мДж | 30мДж |
| Средняя мощность в режиме стабилизации | 60Вт | 120Вт |
| Стабильность энергии импульса, Sigma | < 2% | |
| Размер пучка | 14 х 2.5мм | |
| Расходимость | 3.5 х 1мрад | |
| Длительность импульса | 7 – 9нс | |
| Охлаждение | водяное | |
| Электрическое питание | 220/380 В, 50 Гц, < 20000 ВА | |
| Габариты | 1890 x 810 x 1840мм | |
| Вес | 960кг | |
Смежные продукты

СЛ5000
CL5000
Компактный высокочастотный эксимерный лазер

СЛ7000
CL7000
Эксимерный лазер для научных и производственных задач

СЛ7000 ФБГ
CL7000 FBG
Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток

СЛ7700
CL7700
Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса

СЛ7308
CL7308
Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса

СЛ7500
CL7500
Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью

7X300
7X300
Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью

ОЛС100К
OLS100K
Узкополосный эксимерный лазер для проекционной фотолитографии