Эксимерные лазеры
СЛ7000
CL7000
Эксимерный лазер для научных и производственных задач
20–100Гц
Максимальная частота следования импульсов
193, 248, 308нм
Длина волны
Обработка метериаловLaser Lift-Off процессИмпульсное лазерное осаждение
Ключевые особенности
- Тиратронный коммутатор
- Газовая смесь – премикс
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Стабилизация выходной энергии
- Компьютерный контроль
Характеристики
Длина волны, нм
Максимальная частота следования импульсов, Гц
Всего вариантов: 9
| Длина волны | 193нм | 248нм | 308нм | 193нм | 248нм | 308нм | 193нм | 248нм | 308нм |
| Максимальная частота следования импульсов | 20Гц | 50Гц | 100Гц | ||||||
| Максимальная энергия | 250мДж | 400мДж | 250мДж | 400мДж | 250мДж | 400мДж | 250мДж | ||
| Максимальная средняя мощность | 5Вт | 8Вт | 5Вт | 10Вт | 20Вт | 10Вт | 20Вт | 35Вт | 20Вт |
| Стабильность энергии импульса, Sigma | < 2% | ||||||||
| Размер пучка | 23 х 8мм | 23 х 9мм | 23 х 8мм | 23 х 9мм | 23 х 8мм | 23 х 9мм | |||
| Расходимость | 4.5 х 1.5 мрад | ||||||||
| Длительность импульса | 17нс | 20нс | 17нс | 20нс | 17нс | 20нс | |||
| Охлаждение | воздушное | водяное | |||||||
| Электрическое питание | 220 В, 50 Гц, < 1500 ВА | 220/380 В, 50 Гц, < 3500 ВА | |||||||
| Габариты | 1430 х 380 х 760мм | ||||||||
| Вес | 170кг | ||||||||
Смежные продукты

СЛ5000
CL5000
Компактный высокочастотный эксимерный лазер

СЛ7000 ФБГ
CL7000 FBG
Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток

СЛ7700
CL7700
Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса

СЛ7308
CL7308
Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса

СЛ7500
CL7500
Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью

ДС4000
DC4000
Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники

7X300
7X300
Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью

ОЛС100К
OLS100K
Узкополосный эксимерный лазер для проекционной фотолитографии