Эксимерные лазеры
СЛ5000
CL5000
Компактный высокочастотный эксимерный лазер
100–2000Гц
Максимальная частота следования импульсов
193, 248нм
Длина волны
Производство брэгговских решетокОбработка метериаловБезмасочная литографияЛазерная коррекция зрения
Ключевые особенности
- Высокая пространственная стабильность лазерного пучка
- Высокая угловая стабильность лазерного пучка
- Высокая частота следования импульсов
- Твердотельный коммутатор
- Компактный эксимерный лазер
- Встроенный безмасляный вакуумный насос и газовый фильтр
- Встроенный датчик энергии импульсов
- Стабилизация выходной энергии
Характеристики
Длина волны, нм
Максимальная частота следования импульсов, Гц
Всего вариантов: 8
| Длина волны | 193нм | 248нм | 193нм | 248нм | 193нм | 248нм | 193нм | 248нм |
| Максимальная частота следования импульсов | 100Гц | 500Гц | 1000Гц | 2000Гц | ||||
| Энергия импульса в режиме стабилизации | 15мДж | 25мДж | 10мДж | 20мДж | 10мДж | 20мДж | 4мДж | 6мДж |
| Средняя мощность в режиме стабилизации | 1.5Вт | 2.5Вт | 5Вт | 10Вт | 20Вт | 8Вт | 12Вт | |
| Стабильность энергии импульса, Sigma | < 2% | |||||||
| Размер пучка | (12±0.5) x (4±0.5)мм | (12±0.5) x (3±0.5)мм | (8±0.5) x (3±0.5)мм | |||||
| Расходимость | 3x1мрад | 2x1мрад | ||||||
| Длительность импульса | 13±1 нс | 12±1 нс | 8±1нс | |||||
| Охлаждение | воздушное | водяное | ||||||
| Электрическое питание | 220 В, 50 Гц, < 2500 ВА | |||||||
| Габариты | 890 х 340 х 460мм | |||||||
| Вес | 85кг | |||||||
Смежные продукты

СЛ7000
CL7000
Эксимерный лазер для научных и производственных задач

СЛ7000 ФБГ
CL7000 FBG
Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток

СЛ7700
CL7700
Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса

СЛ7308
CL7308
Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса

СЛ7500
CL7500
Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью

ДС4000
DC4000
Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники

7X300
7X300
Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью

ОЛС100К
OLS100K
Узкополосный эксимерный лазер для проекционной фотолитографии