Эксимерные лазеры
СЛ7500
CL7500
Эксимерная лазерная система с узкой линией генерации и высокой пространственной когерентностью
< 3пм
Ширина линии
20–50Гц
Максимальная частота следования импульсов
193, 248нм
Длина волны
ЛИФ-спектроскопияПроизводство брэгговских решеток
Ключевые особенности
- Состоит из двух эксимерных лазеров модели CL 7020 или CL 7050, специальной оптической платформы и синхронизатора
- Лазерная система работает по оптической схеме «задающий генератор – усилитель»
Характеристики
Длина волны, нм
Максимальная частота следования импульсов, Гц
Всего вариантов: 4
| Длина волны | 193нм | 248нм | 193нм | 248нм |
| Максимальная частота следования импульсов | 20Гц | 50Гц | ||
| Максимальная энергия | 100мДж | 250мДж | 100мДж | 250мДж |
| Максимальная средняя мощность | 2Вт | 5Вт | 12.5Вт | |
| Стабильность энергии импульса, Sigma | < 2% | |||
| Размер пучка | 20 х 6мм | |||
| Расходимость | < 0.2 х 0.2мрад | |||
| Длительность импульса | 20нс | |||
| Охлаждение | водяное | |||
| Электрическое питание | 220/380 В, 50 Гц, < 7000 ВА | |||
| Ширина линии | < 3пм | |||
| Пространственная когерентность | > 5мм | |||
| Временная когерентность | > 10мм | |||
| Габариты | 2000 х 800 х 750мм | |||
| Вес | 450кг | |||
Смежные продукты
СЛ5000
CL5000
Компактный высокочастотный эксимерный лазер
СЛ7000
CL7000
Эксимерный лазер для научных и производственных задач
СЛ7000 ФБГ
CL7000 FBG
Эксимерный лазер для производства волоконных брэгговских решеток
СЛ7700
CL7700
Эксимерный лазер с увеличенной энергией импульса
СЛ7308
CL7308
Специализированный эксимерный лазер с увеличенной длительностью импульса
ДС4000
DC4000
Высокочастотный эксимерный лазер для технологий микроэлектроники
7X300
7X300
Индустриальный эксимерный лазер с высокой энергией импульса и высокой средней мощностью
ОЛС100К
OLS100K
Узкополосный эксимерный лазер для проекционной фотолитографии
